オンマシンAFM観察·計測システムの特性

抄録

回折格子やフレネルレンズなど光学素子では極めて高品位な面粗さ，高精度な極微細溝形状が要求されており，加工工程において機上計測できることが重要な課題となっている．そこで本研究では，AFMを加工機上に搭載し，極微細構造を高精度で測定できるシステムを開発し，その特性について報告する．