精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: B23
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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ加工とトライボロジー（3）
ガラスの3次元加工
*堀田 啓文, 池野 順一
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キーワード: 3次元, ガラス, 微細加工
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抄録
光を用いたガラスの3次元微細加工を試みたので報告する．
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© 2003 公益社団法人　精密工学会
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