ビジュアルフィードバックを用いた精密位置決めステージの開発

抄録

CCD画像をもとに撮影用ターゲットを搭載したステージの位置決め制御を試みた。ターゲットとしては、直径20μmのピンホールを用い、下方から高輝度LEDで照射した。位置決めステージは圧電素子をアクチュエータとし、弾性ヒンジを位置決め機構に用いた。キャリブレーションを含む測定システム、および、制御システムの開発をおこなったところ、静的な位置決めにおいて50μm範囲において60nmの位置決め分解能を確認した。