回折格子を噛み合わせた精密ステージの研究（第4報）

抄録

回折格子をインチワーム方式で噛み合わせることによりμmオーダーで位置決めをする精密ステージを考案した．本報では基準レールとなる回折格子とインチワーム方式で駆動する2枚の回折格子を正確に噛み合わせるためのレーザー調節系を新たに考案したので，この調節方法について報告する．