ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID研削(第5報)

表面あらさの向上による集光特性の向上

抄録

近接場光学を利用した光ヘッド技術であるSIM(ソリッドイマージョンミラー)の超精密ELID研削について、表面あらさの集光特性に与える影響とその改善について報告する。