精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: G79
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先進超精密切削加工技術(2)
硬脆材料の延性モード切削に及ぼす静水圧および温度の影響
*吉野 雅彦Sivanandam Aravindan小川 康文
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抄録
本報告では硬脆材料の延性ー脆性遷移に影響する力学的因子を検討するために、シリコンおよびガラスについて高静水圧下において切削実験を行い、臨界切削厚さに及ぼす静水圧の効果の大きさを評価した。また微細切削における切削温度の変化とそれに伴う物性値の変化を検討した。以上の結果に基づき、硬脆材料の延性モード切削において静水圧および温度上昇が亀裂発生を抑制する効果について議論する。
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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