精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: J02
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圧電アクチュエータとその応用デバイス(1)
摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発(第8報)
AFM用ステージへの応用
*河越 克己古谷 克司三枝 嘉孝
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抄録
本研究では、制御素子が少なく小型で広範囲に移動可能なアザラシ型機構を提案している。提案している機構は、2個の圧電素子、2個の制御電磁石と1個の一定摩擦機構をL字型の構造に配置することにより、平面内で3自由度を持つ。本報では、その機構をAFM用ステージに応用することを目的とし、一定摩擦機構部にZ軸方向用圧電素子を組付けた機構を試作した。また、実際にAFMを構成し運動精度の評価を行なった結果も述べる。
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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