1nm分解能の簡易粗微動ステージの運動制御(続報) 機構と制御パラメータの最適化による動的追随偏差の低減

岡崎 祐一; 大塚 二郎; 市川 宗次

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.728.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: M65

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.728.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め(4)

1nm分解能の簡易粗微動ステージの運動制御(続報)

機構と制御パラメータの最適化による動的追随偏差の低減

*岡崎祐一, 大塚二郎, 市川宗次

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キーワード: 位置決め, ナノメートル, 粗微動機構, ステージ

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抄録

ステップモータ,ボールねじ駆動の粗動機構と圧電アクチュエータを採用した簡便な構成でコンパクトかつ1nmの分解能をもつステージ機構を開発している.位置決め分解能は1nm以下であるが,動的追随偏差は数十nmにおよぶことが確認されている.動的追随偏差はステップモータのドライバ,機構の機械的パラメータおよびサーボ制御パラメータに影響されることが確認された.これらの最適化を図った結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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