超精密位置決め装置の熱変形による位置決め誤差

抄録

小型超精密位置決め装置で、フィードバック制御を働かせた時、モータ等の熱源により原点が移動したりステージの姿勢変化が生じてステージ変位に誤差を生じる。前回の測定方法に改善を加えて、ステージの原点付近と、ステージが20mm移動したときの熱変形によるベクトル的位置決め誤差を測定した。