難結晶化ポリエステルフィルム基材の開発(第2報) 付与した凹凸形状の相異が研磨特性に及ぼす影響

北嶋 弘一; 狹間 範佳; 鳥取 高明; 安田 恒雄

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.74.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: B12

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.74.0

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主催: 社団法人精密工学会

研磨加工技術の新展開(1)

難結晶化ポリエステルフィルム基材の開発(第2報)

付与した凹凸形状の相異が研磨特性に及ぼす影響

北嶋弘一, *狹間範佳, 鳥取高明, 安田恒雄

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キーワード: 難結晶化ポリエステルフィルム, ラッピングテープ, 凹凸形状, 研磨特性

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抄録

ラッピングテープは微細砥粒を塗布しているために切れ刃高さ分布が狭小になり,均一な仕上面粗さを得やすいが,一方ではチップポケットの不足により目詰まりやそれによるスクラッチ発生の原因となる.基材に難結晶化ポリエステルフィルムを適用したラッピングテープに種々の凹凸形状を付与してチップポケットを形成した.それにより,切屑の排出性が良好になり,従来のものに比べて仕上面粗さが向上した.

責任著者(Corresponding author)

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