エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報) 三次元造形における分解能制御の検討

稲月 友一; 梶原 優介; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.25.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: A32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.25.0

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主催: 社団法人精密工学会

三次元造形(1)

エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報)

三次元造形における分解能制御の検討

*稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: エバネッセント光, 定在エバネッセント波, 近接場光学, 光造形, 光硬化性樹脂, 分解能

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抄録

本研究は,より複雑な三次元微小構造の創成を目的として,近接場光(エバネッセント光)を露光エネルギとして利用し,新しい微小構造創製法の確立を目指している.前報までにおいて,エバネッセント露光による樹脂硬化確認及び分解能の理論的,実験的検討を行った.本報では定在エバネッセント波を利用したナノメートルオーダの分解能制御,及びその積層法の検討を行ったので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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