検出用レンズ·斜方照明系一体型自動焦点合せウエハ異物検査装置の開発

抄録

斜方照明·上方検出ウエハ異物検査装置を開発している.この装置ではウエハにうねりがあると照明位置がずれるとともに,検出系の焦点位置がずれてしまう.この問題を解決するために,検出レンズと斜方照明系を一体化し,ウエハのうねりにあわせて,これらを上下する光学系を開発した.光学系の上下動にはピエゾ素子を用い,斜方照明系には半導体レーザを使用している.