FIB—CVD法によるDLCコーティングの剥離性評価

抄録

マイクロオーダーの金型への応用を目的として、FIB-CVD法による局所コーティング技術について研究した。Si及び金型部材に多く用いられるNi, WC上に膜厚の異なるDLC膜を作製し、ナノスクラッチテスターを用いて剥離性評価を行った。これより、基材の種類及び膜厚の違いにより剥離形状、剥離荷重に違いが生じた。本発表では、それらの違いを明確にし、その原因についてもあわせて報告する。