圧電素子の精密位置決め技術への応用の動向（キーノートスピーチ）

抄録

積層型圧電アクチュエータは容易に超高精度の変位を制御できるうえ，その応答性が速く発生力が大きいという利点から精密位置決めにも多用されている．本報では主に2002年の秋季大会から2006年春季大会までに圧電素子に関する研究の動向について調査した結果を述べる．圧電素子に関連した研究のうち特に精密・超精密位置決めに関係するものについて傾向を見る．また，圧電アクチュエータの問題点についても触れる．