白色干渉法による透明膜の膜厚と屈折率の同時計測

抄録

産業界で広く使用されている光干渉式の表面形状測定装置を利用して、透明膜の膜厚と屈折率の分布を同時計測する方法を提案する。本方法は、測定対象の「独立透明膜」を干渉光路の片側に挿入し、膜による光路差変化 (n-1)*tを求めるとともに、膜表面と膜裏面からの干渉信号を検出して光学膜厚n＊tを求め、両情報から膜厚と屈折率を得るものである。プラスティック・フィルムに適用した結果、本手法の実用性を確認した。