選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池

抄録

シリコン基板を用いたマイクロ燃料電池の開発を進めている.最近,湿式めっきによりシリコン基板上に白金多孔質層を形成することに成功した.燃料流路形成のため,多孔質層背面からプラズマエッチングを行うと,エッチング速度は白金多孔質層に達した時点で遅くなる.この性質を利用して,触媒層と燃料流路を一体成形したシリコン電極板を製作した.この電極板を用いて燃料電池セルを作製し,発電性能を評価した.