ELID搭載テーブルトップ超精密加工機の開発

(第5報:一貫型加工システムによる高性能加工の試み)

抄録

精密4軸加工機にELID研削ユニットと機上測定装置を搭載した一貫型微細加工システムを構築した。一貫型加工システムにおいて,機上での高精度・高機能マイクロツールの作製と作製したツールによるワーク加工を行い,加工精度やツール磨耗,加工面性状の評価から,その有効性の検証を行った。