ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密切削加工の状態監視 微小チャンファ付R刃バイトによる延性モードと脆性モード切削

岩本 竜一; 永山 聡女; 近藤 英二

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.623.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: G36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.623.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

ダイヤモンド工具による単結晶シリコンの超精密切削加工の状態監視

微小チャンファ付R刃バイトによる延性モードと脆性モード切削

*岩本竜一, 永山聡女, 近藤英二

著者情報

キーワード: 超精密切削加工, 単結晶ダイヤモンド工具, 微小チャンファ, 単結晶シリコン, 延性モード切削, 監視

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

ダイヤモンド工具による脆性材料の超精密切削加工において,切込みを臨界値以下にすれば平滑な加工面を創生できる延性モード切削が可能である.本研究は適応制御による延性モード切削の安定化に有効な切削加工プロセスの監視バラメータを得ることを目的として行った.その結果,延性モード切削での背分力の動的成分,AEのエンベロープ信号のRMS値は脆性モード切削よりも十分に小さいことが分かった.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）