超小型・高性能センサに用いる同軸照射光学系の開発

抄録

近年、FA分野において、工作機械、半導体製造装置、産業用ロボット、実装機等に使用されるサーボモータにおける小型化・高性能化が進んでいる。 我々は、上記機械装置に使用されるサーボモータに搭載するためのセンサの開発を行ってきたが、この度小型サーボモータ向けにスケール円板外形φ11mmの高性能光学式センサを開発したのでその光学系の設計開発に関して報告する。