ウレタン・エポキシ共重合研磨パッドの開発

抄録

筆者らが開発した多孔質エポキシ樹脂研磨パッドにより，従来の多孔質ウレタン樹脂研磨パッドよりも高い研磨特性が得られている．本研究では，エポキシ樹脂にウレタン樹脂を共重合させたエポキシ・ウレタン樹脂研磨パッドを開発した．ウレタン樹脂を配合することによりエポキシパッドに柔軟性を付与し，加工性の向上が可能となった．また，エポキシ・ウレタンパッドの研磨特性を評価し，エポキシパッドとの比較を行ったので報告する．