ガラスのレーザスクライブにおける境界要素法による三次元亀裂進展解析

八幡 恵輔; 大村 悦二; 清水 政二; 村上 政直

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.619.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: K46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.619.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ガラスのレーザスクライブにおける境界要素法による三次元亀裂進展解析

*八幡恵輔, 大村悦二, 清水政二, 村上政直

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キーワード: レーザスクライブ, ガラス, 亀裂進展, 境界要素法, 三次元解析

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抄録

レーザスクライブは，CO2レーザ照射直後を急冷した際に生じる引張応力により，ガラス表面に浅い亀裂を形成する．これまでに，有限要素法による二次元解析によって適正加工条件を推定できることが明らかにされた．しかし二次元解析には限界があり，複雑な現象について考察するには三次元解析が必要になる．本研究では境界要素法による三次元亀裂進展解析を行い，レーザスクライブにおける亀裂進展現象をより詳細に解析した．

責任著者(Corresponding author)

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