ジルコニア砥粒を用いた化学援用研磨の加工特性

抄録

ガラス研磨に幅広く使用されているセリア（酸化セリウム）の代替砥粒としてジルコニア（酸化ジルコニウム）を用いた。しかし、セリアと比べ研磨後ワークの表面粗さ、除去量といった加工特性が劣るため化学援用方法を考えた。酸性物及びアルカリ性物でｐHを調整したスラリーでガラス研磨を行った結果、セリアと同等な加工特性がでたのでその化学援用効果について報告する。