プラズマ援用研磨法の開発（第4報） 反応焼結SiC材におけるプラズマ援用研磨メカニズムの考察

トウ 輝; 牧山 真也; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.764.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: M16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.764.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

プラズマ援用研磨法の開発（第4報）

反応焼結SiC材におけるプラズマ援用研磨メカニズムの考察

*トウ輝, 牧山真也, 山村和也

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キーワード: 大気圧プラズマ, シリコンカーバイド, 研磨, 表面改質, 酸化

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抄録

反応焼結SiCの高能率かつ高品位な加工法として，水蒸気プラズマ照射による表面改質と軟質なセリア砥粒研磨を組み合わせたプラズマ援用研磨プロセスを開発した．プラズマ発生させる電力が低い（8 W）場合には加工面に突起状の構造物が観察され，高電力（12 W）の場合には突起状の構造物の密度と高さが減少する傾向にあった．本報では，プラズマ援用研磨における反応焼結SiCの平坦化メカニズムについて考察を行った．

責任著者(Corresponding author)

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