Siウェーハの切削抵抗と切り屑の観察

抄録

本研究は，Siウェーハの切削抵抗と切りくずの形状変化の関係を明らかにすることを目的としている．加工モードがぜい性から延性に移る切削厚さt_cを考慮して加工条件を設定し，切削加工実験を行った．その結果，切削厚さがほぼ線形的に増加する延性モード切削における二分力比は，0.42前後を推移し，その状態から増加傾向に転じることがわかった．この変化は，切りくずの状態が流れ型からせん断型へ移行したことによるものと考察した．