超精密位置決めステージ向け微小振動除去機構

抄録

半導体製造装置などに搭載される超精密位置決めステージでは，ナノメートルスケールの微小な振動が装置性能に大きく影響する．このような微小振動は，ステージの駆動要素では制御が困難である．本研究では，ステージの微小振動の除去を目的として，テーブルを弾性変形させてアクティブ制振を行う高応答かつ高剛性な振動除去機構を開発した．さらに，特性評価の結果，ステージの微小振動の抑制可能であることを確認した．