超硬合金金型の微細溝研削加工に関する研究

第3報 研削条件が溝形状精度におよぼす影響

抄録

医療分野で注目されているガラス製マイクロ流体チップは，金型により高温・高圧でガラス基板をプレスし，マイクロ流路を成形する方法が用いられる．このため，金型材料として，高温・高圧に十分耐えられる超硬合金が採用される．本研究では，ガラス製マイクロ流体チップを対象とし，その成形用の超硬合金金型を，ダイヤモンド電着砥石により微細溝研削したときの溝形状などの加工特性について実験的に検討した．