フロッグレッグ形アームをもつロボットにおけるハンド先端軌跡に及ぼす関節誤差の影響

抄録

本研究では、フロッグレッグ形アームを有する半導体搬送用装置を対象とし、機構解析ソフトウェアを用いてロボットアームの各関節に存在する誤差がハンド先端軌跡にどのような影響を及ぼすか調査した。複数の関節誤差の組み合わせによるハンド先端軌跡の変化を調べることにより、要求されるハンド先端の位置精度を満たすために、ロボットアームを設計する際に指定すべき公差を明らかにする。