UV鋭利化技術により高度化されたダイヤモンド工具による超精密切削

神崎 成広; 坂本 武司; 峠 睦

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.303.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: F37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.303.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

UV鋭利化技術により高度化されたダイヤモンド工具による超精密切削

*神崎成広, 坂本武司, 峠睦

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キーワード: ダイヤモンド, 超精密切削, 研磨

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抄録

高品位な仕上げ面が求められる超精密切削加工には単結晶ダイヤモンド工具が使用されている．しかし，単結晶ダイヤモンドはコストが高く，摩耗しやすい．そこで，より安価なPCD製工具やCVDダイヤモンド膜付工具，ナノ多結晶ダイヤモンド工具をUV鋭利化技術により高度化し，超精密切削特性を明らかにし，単結晶ダイヤモンドと比較した．

責任著者(Corresponding author)

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