精密切削工具用ナノ多結晶ダイヤモンドおよびcBNの微細構造

抄録

精密切削工具として優れた性能を有するナノ多結晶ダイヤモンドやナノ多結晶cBNは、構成する粒子が数十nmと細かく、かつそれぞれの粒子が非常に強い力で直接結合している。この粒径、組織や粒界状態によって切削工具特性が大きく左右される。出発物質・合成条件を変えて作製した各種ナノ多結晶試料の微細構造を調査し、機械特性や工具性能に及ぼす影響について検討した。