同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル　アキシャル　アンギュラーモーションの一括測定 第6報：小型高剛性干渉計の製作

熊谷 卓也; Muhummad Madden; 前田 能孝; 中谷 勇貴; 明田川 正人

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.81.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: B23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.81.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル　アキシャル　アンギュラーモーションの一括測定

第6報：小型高剛性干渉計の製作

*熊谷卓也, Muhummad Madden, 前田能孝, 中谷勇貴, 明田川正人

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キーワード: スピンドル, 同心円回折格子, 干渉計

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抄録

近年，超精密加工技術において軸受の不要誤差運動をナノメートル及びサブマイクロラジアンの精度で測定する技術が必要とされている．前報では，軸受に同心円回折格子を取り付け,マイケルソン干渉計と回折光干渉計で構成されている２軸変位センサによって軸受の２自由度誤差運動を測定した.本報では，軸受の不要5自由度運動の測定に必要である小型かつ高剛性に製作した2軸変位センサについて検討する．

責任著者(Corresponding author)

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