ロボット駆動のためのマイクロバルブ集積化制御回路の開発

抄録

空気圧駆動のロボットは、人の身近で働いても安全であること、軽量・小型・高トルクであること、耐久性が高いこと、自然な挙動に近いことが挙げられ、従来の電気モータに比べて次世代型ロボットとしての駆動系に適している。しかし空気圧アクチュエータは動作制御のためにそれぞれバルブを必要とするため、周辺の制御部がネックとなっている。そこでMEMS技術を用いてバルブを集積化し、制御回路の作製を行った。