研磨用冷凍ピンチャックの基板保持特性

抄録

薄板試料は反りを有しており，その反りを矯正することなく保持固定することはきわめて難しい．本研究は，これを実現する冷凍ピンチャックを用いた研磨によって，反りのない高平坦度の薄板試料を得ることを目的としている．本報では，基板を保持する冷凍液の融解特性を明らかにするとともに，その塗布法の高精度化を図った．また，石英ガラス基板の研磨実験により，荷重やピン間の冷却水が基板保持に及ぼす影響を明らかにした．