微細流路の複合化による多自由度マイクロハイドローリックアクチュエータの開発

榊原 隆; 木下 晴之; 大島 まり; 藤井 輝夫

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_73

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: B04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_73

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主催: 公益社団法人精密工学会

微細流路の複合化による多自由度マイクロハイドローリックアクチュエータの開発

*榊原隆, 木下晴之, 大島まり, 藤井輝夫

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キーワード: マイクロハイドローリックアクチュエータ, 構造解析シミュレーション, 微細流路, 多自由度

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抄録

機能的な動作を実現するマイクロハイドローリックアクチュエータ（MHA）の設計，構造解析シミュレーション，および製作を行った．MHAは微細な流路に加える圧力を制御することで平面形状から3次元的な動きを生み出す．MHA内部に複数の微細流路を配置することで，より複雑で機能的な動作の実現を試みた．微細流路構造の幾何学形状やレイアウトを工夫することで，効率的で，多自由度な動作を得られることがわかった．

責任著者(Corresponding author)

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