マイクロハイドローリックアクチュエータの開発と実証

抄録

微細な流路構造をもつ柔軟なシート状のデバイスからフレキシブルで3次元的な動きを造り出す「マイクロハイドローリクス」という動作概念に基づき、小型ソフトアクチュエータの開発と評価を行った。作製方法の検討、動作の実証、アクチュエータ材料の比較検討を実施し、駆動圧力源として小型電気浸透流ポンプを埋め込むことによる小型化と集積化を実現した。さらに、複雑な動きを実現するアクチュエータの実証を行った。