ファイバードレッサによるパッドドレッシングの有効性の評価

ファイバードレッサの寿命評価

抄録

本研究ではファイバードレッサによってドレッシングされた研磨パッドの表面性状とそれによる研磨特性を定量的に評価することで，ファイバードレッサの有効性を示すことを目的とする．本報では，ファイバードレッサによる長時間ドレス寿命試験の結果について，接触画像解析法を用いて分析し，研磨パッドアスペリティによる定量評価を行った．さらに，シリコンウェーハの研磨レートの安定性について比較検討した結果を報告する．