レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発

測定誤差および除去対策

抄録

直径17（R8.5）～21（R10.5）mm,深さ1mの深穴の形状精度を測定できるレーザ誘導方式深穴測定器を制作し、性能試験を行ってきた。本研究では、測定誤差発生の原因追求および誤差抑制型プローブに関し検討する。