精密工学会学術講演会講演論文集
2015年度精密工学会春季大会
セッションID: O46
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焼結ダイヤモンドの超音波研磨加工に関する基礎的研究(第4報)
研磨軌跡に関する検討
*神 雅彦渡辺 健志後藤 隆司
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抄録
 超高硬度脆性材料である焼結ダイヤモンドを高能率かつ高精度に仕上げ加工する方法として、砥石またはラップに超音波振動を付加する方法を検討している。本報では、円板型ラップおよび研磨砥石を試作し、研磨軌跡を調べる実験を行った。その結果、実験結果と理論軌跡とはよく一致し、研磨能率および研磨精度向上のメカニズムを理解することができた。
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© 2015 公益社団法人 精密工学会
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