多孔質エポキシウレタンパッドの特徴

抄録

ガラスの精密研磨に用いられるウレタン樹脂研磨パッドより優れた研磨特性を有するエポキシ樹脂研磨パッドを開発した。エポキシ樹脂研磨パッドはウレタン樹脂研磨パッドより砥粒の保持性が良い事から高い研磨能率を実現した。本研究では、エポキシ樹脂研磨パッドにウレタン樹脂を配合した多孔質エポキシウレタンパッドにより、パッドに柔軟性が付与され高い研磨特性が得られたことから、エポキシウレタンパッドの特性と研磨特性の関係について検討した。