Pad改質手法の効果解析

抄録

スエードPadに高い研磨特性を付与する手法として、Pad表面にポリイミドスプレーを塗布する方法が報告されている。本研究では、ポリイミドスプレーがもたらすPadへの効果について解析し、高研磨レートと被研磨面の表面粗さ特性を両立するための機構を見出した。ポリイミド塗布した種々のPadの研磨特性を調べ、作用砥粒数とPad弾性率に着目して考察を行ったので報告する。