SUS304ターゲットを用いて作製したスパッタステンレス鋼薄膜の機械的性質

抄録

SUS304鋼をターゲットとしたスパッタ法でステンレス薄膜を作製し，成長条件が組成，結晶構造，機械的性質に及ぼす影響を調査した．その結果，室温で成長した薄膜の組成はターゲットとほぼ同じであるが，その結晶構造はバルクとは異なるbcc構造であり，バルクより高い硬さ及び破壊強度を持つ材料が得られることが明らかとなった．また，薄膜の機械的性質は内部応力と関係があり，作製時のAr圧に強く依存することがわかった．