フレキシブルファイバーコンディショナを用いた研磨パッドの表面性状再生技術とその機構解明の研究

高橋 直紀; 畝田 道雄; 新井 雄太郎; 藤田 隆

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_361

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: E69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_361

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主催: 公益社団法人精密工学会

フレキシブルファイバーコンディショナを用いた研磨パッドの表面性状再生技術とその機構解明の研究

*高橋直紀, 畝田道雄, 新井雄太郎, 藤田隆

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キーワード: コンディショニング, ファイバーコンディショナ, 研磨レート, アスペリティ, PEEK

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抄録

本研究では研磨パッドの表面性状再生技術としてフレキシブルファイバーコンディショナ（FFC）を提案し，現在までに原理上，実用に資する有効性を示してきている．本報告ではFFCの材質として新たにPEEKを適用することによってデバイスプロセスへの実用化検証を行うことを目的とする．ここでは，PEEK材によるFFCによる研磨レートの安定性評価と研磨パッド表面性状評価を通じて考察した結果を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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