ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧案内面の研究（第２報） 案内面性能の数値解析と実験検証

若園 賀生; 大和 宏樹; 大坪 和義; 大西 主洋; 中村 隆

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_485

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: G08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_485

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主催: 公益社団法人精密工学会

ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧案内面の研究（第２報）

案内面性能の数値解析と実験検証

*若園賀生, 大和宏樹, 大坪和義, 大西主洋, 中村隆

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キーワード: 工作機械, 案内面, 静圧軸受, 可変絞り, ダイアフラム

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抄録

これまでの研究でダイアフラムによる可変絞りを用いた静圧軸受は，従来のオリフィスによる軸受の3倍の静剛性を達成できることを確認した．本報では，ダイアフラムを用いた可変絞り形静圧軸受による直動ステージが，従来の案内面に対しポケット数を大幅に削減できることを実証する．開発した静圧案内面は，従来に対して軸受面積と軸受油の流量は1/3を達成した．静特性・動特性・運動性能は従来同等の結果が得られた．

責任著者(Corresponding author)

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