表面電位計測時における走査型プローブの複数本化によるプローブ間静電力の影響

抄録

走査型プローブを用いて表面電位を計測する際、プローブの複数本化により単位時間当たりの取得情報量を増加させることができる。複数のプローブを用いる際、その間に働く静電気力の影響を考慮した測定手法が求められる。本研究では、球形プローブを用いた導体円盤上の表面電位測定を対象とし、プローブ―平板間と二本のプローブ間の距離を変化させてプローブ間静電気力の影響を実験により測定し、そのメカニズムを明らかにする。