電子部品検査における過検出抑制のためのHOG特徴量に関する検討

抄録

電子部品の製造では、欠陥がないか自動検査される。しかし、より微小な欠陥の検出が必須とされるがために過検出を招きやすく、過検出を抑えた高感度検査の実現が必要である。そのためには、欠陥候補の再判定が必要となる。本論文では、欠陥検出感度が、HOG（Histogram of Oriented Gradients）特徴量のパラメータにどのように影響を受けるかを説明する。HOG特徴量の挙動の解析に基づいて、HOG特徴量のパラメータの設定方法を提案する。