抄録
この論文では表面弾性波型マイクロポンプに用いられるニオブ酸リチウムを，直接切削により溝加工したときの切削特性について述べる．ニオブ酸リチウムは強い結晶方位依存性を持つ脆性材料であることから，切削方向を変化させると仕上げ面性状に大きな違いが見られたが，多くの切削方向において約5μm以下の切込みで延性モード切削が可能であることがわかった．また，エンドミルを用いたミーリング加工を行いニオブ酸リチウムの切削加工による微細溝加工が可能となった．さらに，切削加工溝によるSAWの粉体輸送実験を行い粉体の移動が確認された．
