低周波振動を利用した高周波振動加速度校正装置の開発

抄録

産総研では高周波振動加速度の国際同等性を確保するため、20 kHz以上における高精度な加速度計の感度と位相遅れの評価に取り組んでいる。しかし、通常の振動加振器では20 kHzでは数nm程度の微小変位振幅になるため、ダンパの共振を利用した低周波振動を高周波振動に重畳させて、測定上変位振幅を増大させた高周波振動加振器に改良した。本発表では、その測定結果について報告する。