正弦波周波数変調変位計測干渉計における直接位相検出法の開発

抄録

本研究室では、正弦波周波数変調変位計測干渉計を開発している。これは干渉信号の高調波成分から、リサージュダイアグラムによって変位を得るものである。本研究では、リサージュダイアグラムによらない直接位相検出による変位計測法を提案している。本研究では、変調深さが一定でなくとも、零位法と位相同期ループにより、高精度に直接位相を得る手法を提案検証する。