自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第5報） 位相利用高感度観察装置による検出

橘 一輝; 浅井 祥平; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_257

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_257

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第5報）

位相利用高感度観察装置による検出

*橘一輝, 浅井祥平, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 欠陥検査, 表面検査, 光計測, ナノ異物

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抄録

基板上微細加工技術の進歩に伴い，製造プロセス中で応用可能な基板上ナノ異物検出法が求められている．そこで我々は，高感度性や高速計測性といった特性を備えた，揮発性液体をプローブとして用いる全く新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出手法を提案している．本報では，落射照明型位相差顕微鏡を用いた液相界面挙動高感度観察装置を構築し，検出特性の実験的検証，および通常観察と比較した結果を示す．

責任著者(Corresponding author)

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