カーボンナノチューブ複合ダイヤモンド電着ワイヤーによる単結晶シリコンの切断性状

抄録

カーボンナノチューブを複合させることにより砥粒保持力を強化した電着ワイヤーを試作し、切断加工時における単結晶シリコンの加工面性状の変化を通常の電着ワイヤーと比較することで、砥粒保持力が加工面性状に及ぼす影響を評価した。