ガラス系材料の研磨におけるスラリーの分散・凝集状態と研磨パッドの制御と評価について

抄録

ガラス系材料の研磨において，研磨能率の向上のために，各種制御剤の組み合わせによるセリア研磨スラリーの分散・凝集状態の制御と，研磨パッド作業面の制御を行い，両者の評価と共に，研磨特性への影響を調べ，最適化の可能性を検討したので，報告する．